清潔的真空環境一直是科學家和企業界尋求的抱負真空環境.自可以發明真空環境開始,人們就企圖選用不同手段到達清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設備已經發展到油泵、螺桿泵、活塞泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產品.在現有的無油真空泵傍邊,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特色:

①.無油，無摩擦——真空腔內無油，非接觸，無磨損，不發生微粒塵土污染，可獲得清潔真空；

②.抽氣量大——雙渦旋盤，結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節省能源；

③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差小；大氣與真空之間由O型圈密封，走漏低；

④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振蕩小；

⑤.結構簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩；

⑥.體積小，修理方便，維護費用低；

⑦.選用空氣冷卻，無需水冷。

目前無油渦旋真空泵的應用領域為:

①.半導體職業——薄膜制備設備、半導體器材封裝設備；

②.科學儀器職業——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測驗儀器；

③.機械設備職業——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備；

④.化學工業；

⑤．醫療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；

⑥．包裝職業——食品、藥品、生物制品等包裝設備。

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